水導雷射應用最成熟、導入最多的產業領域

水導雷射應用最成熟、導入最多的產業領域

「冷加工」與「高精度」的特性

常見加工項目

  • Wafer 切割(Dicing)

  • Die 分割

  • TSV / 微孔前處理

  • 薄晶圓切割(Ultra-thin wafer)


 

加工材質

  • Silicon(矽)

  • SiC(碳化矽)

  • GaAs / GaN

  • Sapphire

  • Glass wafer


 

實際產品與用途

  • 邏輯 IC、Memory

  • Power Device(IGBT、MOSFET)

  • 車用晶片

  • AI / HPC 晶片

  • Micro-LED


 

為什麼選水導雷射

  • 切縫極窄、幾乎無熱影響

  • 晶圓不翹曲、不崩邊

  • 可切超薄晶圓(<100 μm)


 


功率半導體 & 車用電子

加工材質

  • SiC(最關鍵)

  • GaN

  • 厚矽晶圓

實際產品

  • EV 逆變器功率模組

  • 車用電控晶片

  • 充電模組功率元件

用途

  • 高可靠度晶片切割

  • 降低微裂紋,提升良率

Micro-LED 與顯示產業

 加工材質

  • Sapphire

  • GaN

  • Glass

實際產品

  • Micro-LED 顯示面板

  • AR / VR 顯示模組

  • 穿戴裝置顯示

用途

  • 精密晶粒分割

  • 無熱破壞的高密度切割

精密玻璃加工(醫療 / 光學 / 感測)

 

加工材質

  • Borosilicate glass

  • Quartz

  • 強化玻璃

  • 特殊光學玻璃

實際產品

  • 醫療檢測晶片(Lab-on-a-Chip)

  • 微流道玻璃基板

  • 光學感測元件

  • MEMS 封裝玻璃

用途

  • 微孔加工

  • 無崩邊切割

  • 高透明度維持

醫療器材

加工材質

  • 不鏽鋼(316L)

  • 鈦合金

  • 鎳鈦合金(Nitinol)

實際產品

  • 心血管支架

  • 微創手術器械

  • 針頭、導管零件

用途

  • 精密切割

  • 降低熱變質層

  • 提升生物相容性

精密陶瓷與先進材料

 加工材質

  • Al₂O₃

  • ZrO₂

  • Si₃N₄

  • 技術陶瓷

實際產品

  • 電子封裝基板

  • 感測器陶瓷零件

  • 高溫絕緣件

實務市場定位建議

 水導雷射不是通用型加工設備,而是「高門檻、高良率、高附加價值」的專用解決方案。

特別適合切入:

  • 半導體封裝供應鏈

  • EV 功率模組製造

  • Micro-LED / AR 顯示

  • 高階醫療器材代工


 

應用領域 代表性產品 具體用途
半導體 (Semiconductor) SiC (碳化矽) 晶圓、GaN (氮化鎵) 晶圓 晶圓切割 (Dicing)、薄形化加工,減少崩角與邊緣損傷
航空航太 (Aerospace) 渦輪葉片、噴油嘴、複合材料蒙皮 冷卻孔鑽孔 (無熱裂紋)、碳纖維 (CFRP) 高速切割與修邊
醫療器材 (Medical) 心臟支架 (Stents)、內視鏡微型導管 鎳鈦合金 (Nitinol) 微細切割,確保醫療級表面的純淨與無毛刺
珠寶與奢侈品 天然/工業鑽石、高檔手錶機芯齒輪 鑽石原石切割、精密微型零件製造,最大化材料利用率
新能源 (New Energy) 燃料電池雙極板、太陽能矽片 高精度微槽加工與切割,提升電池反應效率


水導雷射的關鍵特性

水導雷射結合了「雷射的高能量」與「水刀的冷卻性」,具有以下獨特優點:

A. 極小熱影響區 (Low HAZ)

傳統雷射加工會產生高溫導致材料燒焦或熱變形。水導雷射的水柱在切割的瞬間會不斷沖刷冷卻,幾乎消除熱影響區,確保材料的力學性能不改變。

B. 工作長度長 (Long Working Distance)

傳統雷射需要頻繁對焦,且焦點深度有限。水導雷射利用水柱傳導,水柱流到哪雷射就打到哪(通常穩定噴射距離可達 10cm),適合加工厚材料或深孔。

C. 無毛刺與自動清洗

高速水柱會自動將加工產生的熔渣 (Slag) 和碎屑沖走,加工面非常乾淨,通常不需要二次後處理或化學蝕刻。

D. 切割面平行度高

水柱呈圓柱狀,因此切割出的縫隙壁面非常平齊,不會像傳統雷射產生上寬下窄的「錐度」現象。